单晶硅烘箱概念

主要用于单晶硅与多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工艺处理。 特点

1，本系列主要用于单晶硅与多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工艺处理。

2，本系列烘箱采用数显温度调节仪进行温度控制、控温灵敏、操作简便、性能可靠，数字直接显 示出工作温度，直观易读。

3，工作室温度可在室温至250℃之间任意恒温；能自动切断电源，保护设备和产品。

4，该设备具有超温报警，恒温计时功能。

箱体结构: 设计*，箱体采用数控机床加工成型，箱门采用双开式，操作容易。内胆采用SUS304不锈钢板，外壳为A3板喷塑处理，更显光洁、美观。电路系统侧采用门式开启，方便维护和检修。箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保烘箱的密闭性。

单晶硅烘箱日常保养：

1． 打扫表面及内腔灰尘，保持机器干净、卫生。

2． 检查电流表电流跟正常时是否一样，如有异样，通知维修工检修。

技术参数：

1、工作室材质：镜面不锈钢板；

2、网板：2层不锈钢网板；

3、定时范围：1-9999min 4、温度范围：RT 10~400℃；

5、温度分辨率：0.1℃；

6、温度波动度：≤±0.5℃。

应用领域：

1、高科技电子业

2、化验室等单位

3、研究机构

4、精密品管部门

■ 控制执行系统: 温度控制器采用触摸按键、数显LED显示、PID智能控制仪表； Pt100铂电阻测温传感器；